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院士簡歷

現職
  • 國立清華大學講座教授
學歷
  • 國立臺灣大學電機工程學系學士(1963)
  • 美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士(1970)
經歷
  • 美國國際商用機器公司(IBM T.J. Watson Research Center & General Technology Division, USA)研究員、研發經理、部經理、幕僚(1970-92)
  • 美國領創公司(Linnovation, Inc. USA)總經理(1992-2000)
  • 台灣積體電路製造股份有限公司資深處長、傑出科技院士/副總經理(2000-2015)
  • Journal of Micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS首任總編輯(2002-11)
專長
  • Nanolithography, Fourier Optics, Semiconductor Manufacturing Technology
曾獲得之學術榮譽
  • 美國IBM傑出發明奬(1975、1976、1978、1982、1984、1986、1989、1992、1994、1997,共10次)
  • 美國IBM傑出貢獻奬(1988)
  • 國際電機電子工程學會(IEEE)會士(2003)
  • 國際光學工程學會(SPIE)會士(2003)
  • 第一屆美國 SPIE Frits Zernike 終生成就奬-SPIE頒給微影家最高的榮譽(2004)
  • 潘文淵文教基金會研究傑出獎(2004)
  • 台積電創新與客戶夥伴獎。董事長級的特獎,是當時台積電最高的獎項(2004 & 2006)
  • 美國VLSI研究機構積體電路工業界最有貢獻的明星(2005)
  • 美國國家工程學院院士(US National Academy of Engineering)(2008)
  • 美國俄亥俄州立大學最高成就金牌Benjamin G. Lamme Meritorious Achievement Medal (2009)
  • 國際電機電子工程學會IEEE Cledo Brunetti Award for contributions to immersion lithography for the manufacture of integrated circuit devices. IEEE頒給微影家的高知名度獎(2009)
  • 國際電機電子工程學會西澤潤一金牌 IEEE Jun-Ichi Nishizawa Medal for contributions to lithographic manufacturing, including immersion lithography. 金牌是IEEE奬項中最高的等級(2013)