院士簡歷
現職
- 國立清華大學特聘研究講座教授
- 清大-台積電聯合研發中心主任
- 國立清華大學半導體研究學院院長
- 國立臺灣大學電機工程學系學士（1963）
- 美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士（1970）
- 美國國際商用機器公司研究員、研發經理、部經理、幕僚(1970-92)
- 美國領創公司總經理(1992-迄今)
- 台灣積體電路製造股份有限公司資深處長、傑出科技院士/副總經理(2000-2015)
- 國立清華大學特聘研究講座教授(2016迄今)
- 清大-台積電聯合研發中心主任(2018迄今)
- 國立清華大學半導體研究學院院長(2021迄今)
- Journal of Micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS首任總編輯(2002-11)
- Nanolithography, Fourier Optics, Semiconductor Manufacturing Technology
- 美國IBM傑出發明奬(1975、1976、1978、1982、1984、1986、1989、1992、1994、1997, 共10次)
- 美國IBM傑出貢獻奬(1988)
- 國際電機電子工程學會(IEEE)會士(2003)
- 國際光學工程學會(SPIE)會士(2003)
- 第一屆美國 SPIE Frits Zernike 終生成就奬-SPIE頒給微影家最高的榮譽(2004)
- 潘文淵文教基金會研究傑出獎(2004)
- 台積電創新與客戶夥伴獎。董事長級的特獎,是當時台積電最高的獎項(2004 & 2006)
- 美國VLSI研究機構積體電路工業界最有貢獻的明星(2005)
- 美國國家工程學院院士(2008)
- 美國俄亥俄州立大學最高成就金牌Benjamin G. Lamme Meritorious Achievement Medal (2009)
- 國際電機電子工程學會IEEE Cledo Brunetti Award for contributions to immersion lithography for the manufacture of integrated circuit devices. IEEE頒給微影家的高知名度獎(2009)
- 國際電機電子工程學會西澤潤一金牌 IEEE Jun-Ichi Nishizawa Medal for contributions to lithographic manufacturing, including immersion lithography. 金牌是IEEE奬項中最高的等級(2013)
- 國立臺灣大學傑出校友-學術類(2018)
- 美國俄亥俄州立大學傑出校友(2018)
- 未來科學大奬–數學與計算機科學奬(2018)
- 第十五屆潘文淵奬(2021)
- SPIE 墨子奬(2023)